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多晶硅生产工艺(工业制硅的化工工艺流程)

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应用介绍

1、多晶硅的生产工艺主要由高纯石英(经高温焦碳还原)→工业硅(酸洗)→硅粉(加hcl)→sihcl3(经过粗馏精馏)→高纯sihcl3(和h2反应cvd工艺)→高纯多晶硅。
2、需要用水的,很多。

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